摘要:本文主要介紹了一種采用拋光墊夾持鍺片進(jìn)行拋光的新型拋光工藝。通過對比選用不同型號的拋光布,施加不同拋光壓力及采用 不同拋光液配比進(jìn)行工藝對比試驗(yàn),最終確定鍺片拋光工藝,并對采用該工藝拋光鍺片進(jìn)行測試分析。
關(guān)鍵詞:拋光墊、拋光布、拋光壓力、拋光液配比
DOI:10.19569/j.cnki.cn119313/tu.0
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