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- 城市建設(shè)理論研究（電子版）
硅片酸腐蝕過程中去除速率的控制
作者：王亞東
作者單位：中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所
摘要：本文主要介紹了使用酸腐機(jī)對硅片進(jìn)行的酸腐蝕實(shí)驗。通過混酸的溫度和混酸中溶液的配比的改變、相同的條件下也會得到不同 的腐蝕速率。硅片晶向?qū)λ岣g速率基本沒有影響。并為尋求以后穩(wěn)定的酸腐蝕工藝奠定了基礎(chǔ)。
關(guān)鍵詞：酸腐蝕，硅片，HNA 腐蝕
DOI：10.19569/j.cnki.cn119313/tu.0
主辦單位：《城市建設(shè)》雜志社有限公司
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《城市建設(shè)》 國際標(biāo)準(zhǔn)刊號：ISSN 1674-781X 國內(nèi)統(tǒng)一刊號：CN 11-5897/F
《城市建設(shè)理論研究（電子版）》 國際標(biāo)準(zhǔn)刊號：ISSN 2095-2104 國內(nèi)統(tǒng)一刊號：CN 11-9313/TU
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